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研究發展處

 

編號 貴重儀器圖片 儀器中(英)文名稱 儀器規格、功能簡述 放置地點 儀器管理(聯絡)者 網頁連結
1

1

場發射掃描式電子顯微鏡
SEM ZEISS ΣIGMA Essential
各式材料之顯微影像、破斷面及金相表面觀察
服務內容:
1. SEM影像拍攝

2. EDS材料分析
3. 鍍白金f
機械工程系
綜科館 B02-2室
儀器管理者:
製科所 魏大華教授
儀器聯絡者:
製科所  研究生
聯絡分機:#4825
 
2 0
反應離子蝕刻系統
Reactive Ion Etching System
在高反應性環境下做蝕刻在特殊材料的表面上
服務內容:
1. 離子刻蝕
機械工程系 
微奈米系統實驗室
綜科館121-3室
儀器管理者:
機械系 顏毅廣老師
儀器聯絡者:
實驗室  管理TA
聯絡分機:#4834
微奈米系統實驗室
3 1
光罩對準儀
Manual Mask Aligner
光照與覆蓋光阻之基板對準和曝光功能
服務內容:
1. 各種元件之對準曝光
機械工程系 
微奈米系統實驗室
綜科館121-3室
儀器管理者:
機械系 顏毅廣老師
儀器聯絡者:
實驗室  管理TA
聯絡分機:#4834
微奈米系統實驗室
4 0
高階非接觸式3D掃描設備
Advance Topometric Optical Sensor
非接觸式測量
服務內容:
1.量測、逆向工程
機械工程系 
精密製造與量測中心
儀器管理者:
機械系  蔡堆明技士
儀器聯絡者:
機械系  蔡堆明技士
聯絡分機:#4818
精密製造與量測中心
5 0
三次元量床
Coordinate Measuring Machine
尺寸測量
服務內容:
1. 尺寸量測
機械工程系 
精密製造與量測中心
儀器管理者:
機械系 蔡堆明技士
儀器聯絡者:
機械系 蔡堆明技士
聯絡分機:#4818
精密製造與量測中心
6 0
3維顯微鏡
3D Microscope
尺寸測量設備
服務內容:
1. 尺寸量測
機械工程系 
精密製造與量測中心
儀器管理者:
機械系 蔡堆明技士
儀器聯絡者:
機械系 蔡堆明技士
聯絡分機:#4818
精密製造與量測中心
7 0
單軸暨雙軸伺服油壓動態材料試驗系統
MTS 810&858 (Bionix) Multipurpose Servohydraulic
Material Testing System
材料力學測試
服務內容:
1. 動態疲勞測試
2. 單軸向靜態試驗
3. 雙軸向靜態試驗
綜科館 B03-4室
儀器管理者:
機械系 陳文斌教授
儀器聯絡者:
機械系 研究生
聯絡分機:#4823
8 0
雷射共軛焦顯微鏡
Laser Scanning Confocal Microscopy
名稱及型號:形態分析雷射共軛焦兼白光干涉顯微鏡(3D Surface Profiler VK-3000 series)
物鏡倍率:10 倍 20 倍 50 倍
高度重複精度σ: 10X: 100 nm、20X: 40 nm、50X: 12 nm
寬度重複精度3σ: 10X: 200 nm、20X: 100 nm、50X: 40 nm
掃描頻率: 125 Hz(面)、7900 Hz(線)
視野範圍: 11至7398 μm
載物平台移動範圍: 100 mm x 100 mm
服務內容:
1.輪廓量測:高度、寬度、截面積、形狀角度、R值測量。
2. 粗糙度量測:直線粗糙度、表面粗糙度量測。
3. 3D量測:體積、表面積、表面積比率量測。
4. 自動寬度量測:自動寬度、自動高度量測。
5. 比較性量測:可顯示兩目標物的重疊截面輪廓,並量測它們在寬度、高度以及截面上的差異。
6. 2D+3D量測。
7. 透明薄膜量測:區域薄膜厚度量測、透明物體最外層表面觀察。
機械工程系 
精密製造與量測中心
儀器管理者:
機械系 曾釋鋒副教授
儀器聯絡者:
機械系 曾釋鋒副教授
聯絡分機:#4807
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9 0
拉曼光譜儀
Microscope Raman Spectrum
拉曼光譜分析
服務內容:
1. 拉曼光譜分析
精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-

 
儀器管理者:
化工系 楊重光教授
儀器聯絡者:
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員
聯絡分機:#6062
精密研發與分析中心
10 化學分析電子能譜儀
化學分析電子能譜儀
Electron Spectroscopy for Chemical Analysis
表面元素分析
服務內容:
1.基本真空
2.表面元素分析
3.縱深元素分析
精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-
儀器管理者:
化工系 楊重光教授
儀器聯絡者:
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員
聯絡分機:#6062
精密研發與分析中心
11 1
氣相層析質譜儀
Gas chromatography-mass spectrometry
質譜分析
服務內容:
1. 質譜分析
2.質譜分析+熱裂解進樣
精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-
儀器管理者:
化工系 楊重光教授
儀器聯絡者:
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員
聯絡分機:#6062
精密研發與分析中心
12 1
斷層掃描儀
Computed Tomography
缺陷形貌尺寸測量
服務內容:
1. 缺陷形貌分析
2.尺寸量測
精密研發與分析中心
-(化學館)-
儀器管理者:
化工系 楊重光教授
儀器聯絡者:
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員
聯絡分機:#6062
精密研發與分析中心
13 0
熱重量分析儀
Thermo Gravimetry Analyzer
熱性質分析:如熔點、熱重損失量等
服務內容:
1. 熱重分析
精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-
儀器管理者:
化工系 楊重光教授
儀器聯絡者:
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員
聯絡分機:#6062
精密研發與分析中心
14 1
原子力顯微鏡
Atomic Force Microscopy
微型貌分析
服務內容:
1. 微型貌分析
精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-
儀器管理者:
化工系 楊重光教授
儀器聯絡者:
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員
聯絡分機:#6062
精密研發與分析中心
15 0
動態機械熱分析儀
Dynamic Mechanical Analyzer
機械性質分析
服務內容:
1. 動態機械熱分析
精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-
儀器管理者:
化工系 楊重光教授
儀器聯絡者:
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員
聯絡分機:#6062
精密研發與分析中心
16

1

高感度水氣透過率測試儀
Water Vapor Transmission
水氣透過率分析
服務內容:
1. 水氣透過率測試 M1+環境控制箱
2. 水氣透過率測試 M2, M3
3. 水氣透過率測試 M4

 
精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-
儀器管理者:
化工系 楊重光教授
儀器聯絡者:
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員
聯絡分機:#6062
精密研發與分析中心
17 0
傅立葉轉換顯微紅外光光譜儀
Fourier Transform Infrared Spectrometers
紅外線光譜分析
服務內容:
1. 紅外線光譜分析
2. 顯微紅外線光譜分析
精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-
儀器管理者:
化工系 楊重光教授
儀器聯絡者:
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員
聯絡分機:#6062
精密研發與分析中心
18 0
場發射掃描式電子顯微鏡
Field Emission Scanning Electron Microscope
微米尺寸樣品解析、成分分析
服務內容:
1.微米尺寸樣品解析
精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-
儀器管理者:
化工系 楊重光教授
儀器聯絡者:
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員
聯絡分機:#6062
精密研發與分析中心
19

1

光學用多層膜真空蒸鍍裝置
Showa Shinku Evaporator SGC-22SA-IAD
光學多層鍍膜
服務內容:
1. 光學用多層膜真空蒸鍍
化學館1F 101B室
儀器管理者:
化工系 楊重光教授
儀器聯絡者:
化工系 楊重光教授
聯絡分機:#2533
20 0
卷對卷塗布機暨光學薄膜檢測系統
Roll to Roll and Optical Thinfilm Analysis System
軟性基材薄膜塗布
服務內容:
1. 軟性基材薄膜塗布
化學館1樓101室
儀器管理者:
化工系 黃聲東教授
儀器聯絡者:
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員
聯絡分機:#6062
精密研發與分析中心
21 1
多功能X射線繞射儀
Multi-Function X-Ray Diffractometer
薄膜樣品X射線繞射分析
服務內容:
1. X射線繞射儀
精密研發與分析中心
儀器管理者:
材資系 邱德威教授
儀器聯絡者:
材資系 邱德威教授
聯絡分機:#2742
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22

1

高解析場發射穿透式電子顯微鏡(含附屬設備)
High Resolution Field Emission Transmission Electron
Microscope (HR/FE-TEM)
1.具有掃描及穿透功能,可觀察材料微細組織,晶體結構及缺陷。
2.微區繞射分析Nano Beam Diffraction),鑑定結晶材料微結構。
3.高解析(HRTEM),增強訊號並放大影像分析結晶材料微結構。
4.數位存取TEM/STEM影像
5.化學元素成分定性及定量,分布(Mapping)全能譜分析:
B5~U92
6.TEM 樣品製備設備。
7.修整與薄化TEM 試片。
服務內容:
1. FEGTEM+CCD
2. EDS
3. STEM
4. TEM樣品製備
材料資源與工程系 1F
儀器管理者:
材資系 吳玉娟教授
儀器聯絡者:
材資系 莊曜瑛技術員
聯絡分機:#2770
穿透式電子顯微鏡
23

冷場發

冷場發掃描式電子顯微鏡
Cold Field-Emission Scanning Electron Microscopy
(FE-SEM)
表面觀察及搭配能量分散光譜儀(EDS)元素分析
服務內容:
1. FESEM+BSE+EDS 
2. 鍍金
材料資源與工程系 1F
儀器管理者:
材資系 吳玉娟教授
儀器聯絡者:
材資系 莊曜瑛技術員
聯絡分機:#2770
冷場發掃描式電子顯微鏡
24

D8 ADVANCE X光繞射儀

D8 ADVANCE X光繞射儀
D8 ADVANCE X-Ray DIFFRACTOMETER
對於粉末、塊材、薄膜及塗層等材料進行元素分析及晶相分析
服務內容:
1. 廣角繞射

2. 低掠角薄膜繞射
材料資源與工程系
 X-Ray實驗室
材資館102
儀器管理者:
材資系 吳玉娟老師
儀器聯絡者:
材資系 周景文技士
聯絡分機:#2714
D8 ADVANCE X光繞射儀
25 0
掃描探針顯微鏡
Scanning Probe Microscope(SPM)
利用探針針尖量測樣本表面特性
服務內容:
1. 原子力顯微鏡  (atomic force microscope)
2. 側向力顯微鏡  (lateral force microscope) 
3. Phase imaging 
4. 磁力顯微鏡  (magnetic force microscope) 
5. 電性量測 (Electric field microscope) 
6. 掃描穿隧式顯微鏡 (scanning tunneling microscope) 
7. 電性量測 (Conductive AFM) 
8. 掃描式熱梯度顯微鏡  (scanning thermal microscope) 
9. 電化學量測 (Electrochemical SPM) 
10. Kelvin probe microscopy  (surface potential) 
11. 掃描電容顯微鏡 (scanning capacitance microscope) 
12. Force modulation microscope 
13. 壓電力顯微鏡  (piezoresponse force microscope) 
14. 液體中成像 (Liquid imaging) 
15. 具備 nanolithography 軟 體,可進行奈米尺寸電氧化、壓痕、圖佈......等圖形 化實驗。
材料資源與工程系 1F
儀器管理者:
材資系 張裕煦教授
儀器聯絡者:
材資系 莊曜瑛技術員
聯絡分機:#2770
掃描探針顯微鏡
26 拉曼光譜儀
拉曼光譜儀.拉曼光譜儀..
拉曼光譜儀
Raman spectrometer
研究晶格及分子的振動模式、旋轉模式和在一系統裡的其他低頻模式的一種分光技術
服務內容:
1. 拉曼光譜量測
奈米中心
儀器管理者:
材資系 王錫福教授
儀器聯絡者:
材資系 盧錫全技士
聯絡分機:#2759
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27

1
半導体雷射啟能式綠光雷射與飛秒量測系統

半導体雷射啟能式綠光雷射與飛秒量測系統
Diode pump green laser and femtosecond measurement system
1. 波長可調飛秒鈦藍寶石雷射
2. 鈦藍寶石二倍頻模組
3. 顯微螢光譜量測系統
4. 時間解析螢光測量系統
5. 自組泵-探量測系統
6. 變溫測量系統
服務內容:
1. 時間解析螢光光譜量測
2. 雙光子螢光光譜量測
3. 瞬態穿透率與反射率量測變溫時間解析螢光光譜量測
4. 溫變時間解析螢光光譜量測
光電工程系
億光大樓 912室
儀器管理者:
光電系 林家弘教授
儀器聯絡者:
光電系 林家弘教授
聯絡分機:#4663

半導体雷射啟能式綠光雷射與飛秒量測系統

28

雷射量測系統 雷射量測系統.

雷射量測系統
Laser Measure System
1. Nd:YAGQ開關雷射
2. Q開關雷射三倍頻模組
3. Q開關雷射四倍頻模組
4. 連續波綠光雷射
5. 顯微量測系統
6. 高解析度單頻儀
7. 低雜訊CCD
服務內容:
1. 受激輻射光譜量測
2. 隨機光譜量測
3. 拉曼光譜量測
光電工程系
億光大樓 912室
儀器管理者:
光電系 林家弘教授
儀器聯絡者:
光電系 林家弘教授
聯絡分機:#4663
雷射量測系統
29

1

高真空電子束蒸鍍系統
High vacuum electron gun evaporation system
 設備規格
1. 電子束電源:5 kW / 4-10 kV, 500 mA
2. 最高真空度:4×10^-6 torr
3. 承載坩堝:4組、容量10 c.c.
4. 基板載座:可容納一片 5 吋直徑晶圓
5. 基板加熱:最高 500°C
6. 旋轉速度:5 - 25 rpm
 服務內容
1. 各種高熔點材料鍍膜 (鈦、鉭、矽、氧化鉭、氧
化矽等)
2. 可依序蒸鍍最多四種不同材料
 收費標準(依操作時數,只有委託操作)
1. 學術單位:1500元/hr (校內)、2000元/hr (校外)
2. 其他單位:2500元/hr
註:需自備鍍膜材料及坩堝,由本實驗室提供者,
需另按時價收費
預約表單
表單填寫完成後,聯絡人會主動聯絡
光電工程系 
億光大樓718實驗室
儀器管理者:光電系 王子建教

儀器聯絡者:
張丞禮(t112658074@ntut.edu.tw)
陳胤廷(t112658088@ntut.edu.tw)
聯絡地點:億光大樓九樓927實
驗室
聯絡電話:(02) 27712171 - 分機
4684
 
30

1

多靶射頻濺鍍系統
Multi-Target RF Sputtering System
1. 2組濺鍍槍(可調濺鍍槍角度)
與2組射頻電源供應器(300W)
2. 4:”基本載座:可控溫至最高500C(可多段升溫):旋轉速度可達25rpm;可加直流偏壓
3. 可控壓力:1torr~10torr
4. 通入氣體(可控制器流量):氬氣和氧氣
遮版:可設定清靶時間和濺鍍時間
服務內容:
1. 多靶射頻濺鍍系統/Multi-Target RF Sputtering System
靶材:WO3(氧化鎢)Te(鍗)
收費標準(只有委託操作):
學術單位(校內) 操作時數(含開機):1500/hr
學術單位(校外) 操作時數(含開機):2000/hr
預約使用時間:周二、周三上午9點至12點,周四下午1點至4點
預約表單
填寫完後管理員會主動聯絡
光電工程系
億光大樓 1117
儀器管理者:
光電系 陳美杏副教授
儀器聯絡者:
陳美杏副教授
林呈佳 億光大樓分機 4678 email:joe900126@gmail.com
呂曼瑋 億光大樓分機 4678 email:schw510209@gmail.com
聯絡分機:#4620
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31

透地雷達

透地雷達
Ground Penetrating Radar
利用電磁波原理進行非破壞性檢測,對地下管線、空洞、鋼筋等多種目標檢測其深度及位置
服務內容:
1. 校內教學講解
2. 委託檢測
3. 透地雷達論文研究
土木工程系
土木精密儀器中心
儀器管理者:
土木系 陳水龍教授
儀器聯絡者:
土木系 陳水龍教授
聯絡分機:#2623
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32 0
多功能X光晶相繞射儀
Multi-function X-ray Diffractometer
用於量測,比對及分析物質和材料的結構及晶相
服務內容:
1. 用戶操作
2. 委託操作
分子科學與工程系 B1F
儀器管理者:
分子系 許益瑞教授
儀器聯絡者:
分子系 許益瑞教授
聯絡分機:#2420
33 0
氣相層析質譜儀
Gas Chromatograph Mass Spectrometer
質譜儀(MS):樣品受電子撞擊,化合物即產生裂訊、游離,但正電荷的碎片或離子,經電場加速、磁場轉彎,即得一質譜儀。具有高靈敏度、高鑑識能力,用於分析待測物質量。
氣相層析儀(GC): 以載流氣體作為移動相,將待測物氣化傳送至含有固定相的管柱,藉由樣品中各化合物與固定相作用力強弱,使化合物滯留於管柱內之時間不同,而達到分離的目的。
服務內容:
1. 化合物鑑定、定量
分子科學與工程系 4樓
綠色科技與能源實驗室
儀器管理者:
分子系 呂良賜教授
儀器聯絡者:
分子系 呂良賜教授
聯絡分機:#2417
34 核磁共振光譜儀
400 MHz NMR 核磁共振光譜儀
400 MHz Nuclear Magnetic Resonance spectroscopy
化合物的化學結構鑑定
服務內容:
1. 一維光譜:化學位移,耦合常數,去耦合實驗等。如:1H、13C、DEPT光譜
2. 二維光譜:同核與同核相關光譜或同核與異核相關光譜,如COSY、NOESY、HSQC、HMBC光譜
3. 特殊實驗:DOSY、變溫實驗 (-80-100 ℃)
分子科學與工程系 1F
儀器管理者:
分子系 陳秀慧教授
儀器聯絡者:
實驗室 管理TA
聯絡分機:#2428