場發射掃描式電子顯微鏡

SEM ZEISS ΣIGMA Essential

各式材料之顯微影像、破斷面及金相表面觀察

服務內容：
1. SEM影像拍攝
2. EDS材料分析
3. 鍍白金f

機械工程系
綜科館 B02-2室

儀器管理者：
製科所 魏大華教授

儀器聯絡者：
製科所  研究生

聯絡分機：#4825

反應離子蝕刻系統

Reactive Ion Etching System

在高反應性環境下做蝕刻在特殊材料的表面上

服務內容：
1. 離子刻蝕

機械工程系 

微奈米系統實驗室

綜科館121-3室

儀器管理者：
機械系 顏毅廣老師

儀器聯絡者：
實驗室  管理TA

聯絡分機：#4834

光罩對準儀

Manual Mask Aligner

光照與覆蓋光阻之基板對準和曝光功能

服務內容：
1. 各種元件之對準曝光

機械工程系 

微奈米系統實驗室

綜科館121-3室

儀器管理者：
機械系 顏毅廣老師

儀器聯絡者：
實驗室  管理TA

聯絡分機：#4834

高階非接觸式3D掃描設備

Advance Topometric Optical Sensor

非接觸式測量

服務內容：
1.量測、逆向工程

機械工程系 
精密製造與量測中心

儀器管理者：
機械系  蔡堆明技士

儀器聯絡者：
機械系  蔡堆明技士

聯絡分機：#4818

三次元量床

Coordinate Measuring Machine

尺寸測量

服務內容：
1. 尺寸量測

機械工程系 
精密製造與量測中心

儀器管理者：
機械系 蔡堆明技士

儀器聯絡者：
機械系 蔡堆明技士

聯絡分機：#4818

3維顯微鏡

3D Microscope

尺寸測量設備

服務內容：
1. 尺寸量測

機械工程系 
精密製造與量測中心

儀器管理者：
機械系 蔡堆明技士

儀器聯絡者：
機械系 蔡堆明技士

聯絡分機：#4818

單軸暨雙軸伺服油壓動態材料試驗系統

MTS 810&858 (Bionix) Multipurpose Servohydraulic

Material Testing System

材料力學測試

服務內容：
1. 動態疲勞測試
2. 單軸向靜態試驗
3. 雙軸向靜態試驗

綜科館 B03-4室

儀器管理者：
機械系 陳文斌教授

儀器聯絡者：
機械系 研究生

聯絡分機：#4823

雷射共軛焦顯微鏡

Laser Scanning Confocal Microscopy

名稱及型號:形態分析雷射共軛焦兼白光干涉顯微鏡(3D Surface Profiler VK-3000 series)
物鏡倍率:10 倍 20 倍 50 倍
高度重複精度σ: 10X: 100 nm、20X: 40 nm、50X: 12 nm
寬度重複精度3σ: 10X: 200 nm、20X: 100 nm、50X: 40 nm
掃描頻率: 125 Hz(面)、7900 Hz(線)
視野範圍: 11至7398 μm
載物平台移動範圍: 100 mm x 100 mm

服務內容：
1.輪廓量測:高度、寬度、截面積、形狀角度、R值測量。
2. 粗糙度量測:直線粗糙度、表面粗糙度量測。
3. 3D量測:體積、表面積、表面積比率量測。
4. 自動寬度量測:自動寬度、自動高度量測。
5. 比較性量測:可顯示兩目標物的重疊截面輪廓，並量測它們在寬度、高度以及截面上的差異。
6. 2D+3D量測。
7. 透明薄膜量測:區域薄膜厚度量測、透明物體最外層表面觀察。

機械工程系 
精密製造與量測中心

儀器管理者：
機械系 曾釋鋒副教授

儀器聯絡者：
機械系 曾釋鋒副教授

聯絡分機：#4807

拉曼光譜儀

Microscope Raman Spectrum

拉曼光譜分析

服務內容：
1. 拉曼光譜分析

精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-
 

儀器管理者：
化工系 楊重光教授

儀器聯絡者：
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員

聯絡分機：#6062

化學分析電子能譜儀

Electron Spectroscopy for Chemical Analysis

表面元素分析

服務內容：
1.基本真空
2.表面元素分析
3.縱深元素分析

精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-

儀器管理者：
化工系 楊重光教授

儀器聯絡者：
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員

聯絡分機：#6062

氣相層析質譜儀

Gas chromatography-mass spectrometry

質譜分析

服務內容：
1. 質譜分析
2.質譜分析+熱裂解進樣

精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-

儀器管理者：
化工系 楊重光教授

儀器聯絡者：
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員

聯絡分機：#6062

斷層掃描儀

Computed Tomography

缺陷形貌尺寸測量

服務內容：
1. 缺陷形貌分析
2.尺寸量測

精密研發與分析中心
-(化學館)-

儀器管理者：
化工系 楊重光教授

儀器聯絡者：
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員

聯絡分機：#6062

熱重量分析儀

Thermo Gravimetry Analyzer

熱性質分析：如熔點、熱重損失量等

服務內容：
1. 熱重分析

精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-

儀器管理者：
化工系 楊重光教授

儀器聯絡者：
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員

聯絡分機：#6062

原子力顯微鏡

Atomic Force Microscopy

微型貌分析

服務內容：
1. 微型貌分析

精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-

儀器管理者：
化工系 楊重光教授

儀器聯絡者：
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員

聯絡分機：#6062

動態機械熱分析儀

Dynamic Mechanical Analyzer

機械性質分析

服務內容：
1. 動態機械熱分析

精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-

儀器管理者：
化工系 楊重光教授

儀器聯絡者：
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員

聯絡分機：#6062

高感度水氣透過率測試儀

Water Vapor Transmission

水氣透過率分析

服務內容：
1. 水氣透過率測試 M1+環境控制箱
2. 水氣透過率測試 M2, M3
3. 水氣透過率測試 M4
 

精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-

儀器管理者：
化工系 楊重光教授

儀器聯絡者：
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員

聯絡分機：#6062

傅立葉轉換顯微紅外光光譜儀

Fourier Transform Infrared Spectrometers

紅外線光譜分析

服務內容：
1. 紅外線光譜分析
2. 顯微紅外線光譜分析

精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-

儀器管理者：
化工系 楊重光教授

儀器聯絡者：
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員

聯絡分機：#6062

場發射掃描式電子顯微鏡

Field Emission Scanning Electron Microscope

微米尺寸樣品解析、成分分析

服務內容：
1.微米尺寸樣品解析

精密研發與分析中心
-(先鋒大樓)-

儀器管理者：
化工系 楊重光教授

儀器聯絡者：
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員

聯絡分機：#6062

光學用多層膜真空蒸鍍裝置

Showa Shinku Evaporator SGC-22SA-IAD

光學多層鍍膜

服務內容：
1. 光學用多層膜真空蒸鍍

化學館1F 101B室

儀器管理者：
化工系 楊重光教授

儀器聯絡者：
化工系 楊重光教授

聯絡分機：#2533

卷對卷塗布機暨光學薄膜檢測系統

Roll to Roll and Optical Thinfilm Analysis System

軟性基材薄膜塗布

服務內容：
1. 軟性基材薄膜塗布

化學館1樓101室

儀器管理者：
化工系 黃聲東教授

儀器聯絡者：
精密研發與分析中心 吳雅婷技術員

聯絡分機：#6062

多功能X射線繞射儀

Multi-Function X-Ray Diffractometer

薄膜樣品X射線繞射分析

服務內容：
1. X射線繞射儀

精密研發與分析中心

儀器管理者：
材資系 邱德威教授

儀器聯絡者：
材資系 邱德威教授

聯絡分機：#2742

高解析場發射穿透式電子顯微鏡(含附屬設備)

High Resolution Field Emission Transmission Electron

Microscope (HR/FE-TEM)

1.具有掃描及穿透功能，可觀察材料微細組織，晶體結構及缺陷。
2.微區繞射分析Nano Beam Diffraction)，鑑定結晶材料微結構。
3.高解析(HRTEM)，增強訊號並放大影像分析結晶材料微結構。
4.數位存取TEM/STEM影像
5.化學元素成分定性及定量，分布(Mapping)全能譜分析:B₅~U_{92
6.TEM 樣品製備設備。
7.修整與薄化TEM 試片。}

服務內容：
1. FEGTEM+CCD
2. EDS
3. STEM
4. TEM樣品製備

材料資源與工程系 1F

儀器管理者：
材資系 吳玉娟教授

儀器聯絡者：
材資系 莊曜瑛技術員

聯絡分機：#2770

冷場發掃描式電子顯微鏡

Cold Field-Emission Scanning Electron Microscopy
(FE-SEM)

表面觀察及搭配能量分散光譜儀(EDS)元素分析

服務內容：
1. FESEM+BSE+EDS 
2. 鍍金

材料資源與工程系 1F

儀器管理者：
材資系 吳玉娟教授

儀器聯絡者：
材資系 莊曜瑛技術員

聯絡分機：#2770

D8 ADVANCE X光繞射儀

D8 ADVANCE X-Ray DIFFRACTOMETER

對於粉末、塊材、薄膜及塗層等材料進行元素分析及晶相分析

服務內容：
1. 廣角繞射
2. 低掠角薄膜繞射

材料資源與工程系
 X-Ray實驗室

材資館102室

儀器管理者：
材資系 吳玉娟老師

儀器聯絡者：
材資系 周景文技士

聯絡分機：#2714

掃描探針顯微鏡

Scanning Probe Microscope(SPM)

利用探針針尖量測樣本表面特性

服務內容：
1. 原子力顯微鏡  (atomic force microscope)
2. 側向力顯微鏡  (lateral force microscope) 
3. Phase imaging 
4. 磁力顯微鏡  (magnetic force microscope) 
5. 電性量測 (Electric field microscope) 
6. 掃描穿隧式顯微鏡 (scanning tunneling microscope) 
7. 電性量測 (Conductive AFM) 
8. 掃描式熱梯度顯微鏡  (scanning thermal microscope) 
9. 電化學量測 (Electrochemical SPM) 
10. Kelvin probe microscopy  (surface potential) 
11. 掃描電容顯微鏡 (scanning capacitance microscope) 
12. Force modulation microscope 
13. 壓電力顯微鏡  (piezoresponse force microscope) 
14. 液體中成像 (Liquid imaging) 
15. 具備 nanolithography 軟 體，可進行奈米尺寸電氧化、壓痕、圖佈......等圖形 化實驗。

材料資源與工程系 1F

儀器管理者：
材資系 張裕煦教授

儀器聯絡者：
材資系 莊曜瑛技術員

聯絡分機：#2770

拉曼光譜儀

Raman spectrometer

研究晶格及分子的振動模式、旋轉模式和在一系統裡的其他低頻模式的一種分光技術

服務內容：
1. 拉曼光譜量測

奈米中心

儀器管理者：
材資系 王錫福教授

儀器聯絡者：
材資系 盧錫全技士

聯絡分機：#2759

半導体雷射啟能式綠光雷射與飛秒量測系統

Diode pump green laser and femtosecond measurement system

1. 波長可調飛秒鈦藍寶石雷射
2. 鈦藍寶石二倍頻模組
3. 顯微螢光譜量測系統
4. 時間解析螢光測量系統
5. 自組泵-探量測系統
6. 變溫測量系統

服務內容：
1. 時間解析螢光光譜量測
2. 雙光子螢光光譜量測
3. 瞬態穿透率與反射率量測變溫時間解析螢光光譜量測
4. 溫變時間解析螢光光譜量測

光電工程系

億光大樓 912室

儀器管理者：
光電系 林家弘教授

儀器聯絡者：
光電系 林家弘教授

聯絡分機：#4663

半導体雷射啟能式綠光雷射與飛秒量測系統

雷射量測系統

Laser Measure System

1. Nd:YAGQ開關雷射
2. Q開關雷射三倍頻模組
3. Q開關雷射四倍頻模組
4. 連續波綠光雷射
5. 顯微量測系統
6. 高解析度單頻儀
7. 低雜訊CCD

服務內容：
1. 受激輻射光譜量測
2. 隨機光譜量測
3. 拉曼光譜量測

光電工程系

億光大樓 912室

儀器管理者：
光電系 林家弘教授

儀器聯絡者：
光電系 林家弘教授

聯絡分機：#4663

高真空電子束蒸鍍系統

High vacuum electron gun evaporation system

 設備規格
1. 電子束電源：5 kW / 4-10 kV, 500 mA
2. 最高真空度：4×10^-6 torr
3. 承載坩堝：4組、容量10 c.c.
4. 基板載座：可容納一片 5 吋直徑晶圓
5. 基板加熱：最高 500°C
6. 旋轉速度：5 - 25 rpm
 服務內容
1. 各種高熔點材料鍍膜 (鈦、鉭、矽、氧化鉭、氧
化矽等)
2. 可依序蒸鍍最多四種不同材料
 收費標準(依操作時數，只有委託操作)
1. 學術單位：1500元/hr (校內)、2000元/hr (校外)
2. 其他單位：2500元/hr
註：需自備鍍膜材料及坩堝，由本實驗室提供者，
需另按時價收費


預約表單
表單填寫完成後，聯絡人會主動聯絡

光電工程系 

億光大樓718實驗室

多靶射頻濺鍍系統

Multi-Target RF Sputtering System

1. 2組濺鍍槍(可調濺鍍槍角度)
與2組射頻電源供應器(300W)
2. 4:”基本載座:可控溫至最高500C(可多段升溫):旋轉速度可達25rpm；可加直流偏壓
3. 可控壓力:1torr~10torr
4. 通入氣體(可控制器流量):氬氣和氧氣
遮版:可設定清靶時間和濺鍍時間

服務內容：
1. 多靶射頻濺鍍系統/Multi-Target RF Sputtering System

靶材:WO3(氧化鎢)、Te(鍗)

收費標準(只有委託操作)：
學術單位(校內) 操作時數(含開機)：1500/hr
學術單位(校外) 操作時數(含開機)：2000/hr

預約使用時間:周二、周三上午9點至12點，周四下午1點至4點

預約表單
填寫完後管理員會主動聯絡

光電工程系

億光大樓 1117

儀器管理者：
光電系 陳美杏副教授

儀器聯絡者：

陳美杏副教授

林呈佳 億光大樓分機 4678 email:joe900126@gmail.com
呂曼瑋 億光大樓分機 4678 email:schw510209@gmail.com

聯絡分機：#4620

透地雷達

Ground Penetrating Radar

利用電磁波原理進行非破壞性檢測，對地下管線、空洞、鋼筋等多種目標檢測其深度及位置

服務內容：
1. 校內教學講解
2. 委託檢測
3. 透地雷達論文研究

土木工程系
土木精密儀器中心

儀器管理者：
土木系 陳水龍教授

儀器聯絡者：
土木系 陳水龍教授

聯絡分機：#2623

多功能X光晶相繞射儀

Multi-function X-ray Diffractometer

用於量測，比對及分析物質和材料的結構及晶相

服務內容：
1. 用戶操作
2. 委託操作

分子科學與工程系 B1F

儀器管理者：
分子系 許益瑞教授

儀器聯絡者：
分子系 許益瑞教授

聯絡分機：#2420

氣相層析質譜儀

Gas Chromatograph Mass Spectrometer

質譜儀(MS):樣品受電子撞擊，化合物即產生裂訊、游離，但正電荷的碎片或離子，經電場加速、磁場轉彎，即得一質譜儀。具有高靈敏度、高鑑識能力，用於分析待測物質量。
氣相層析儀(GC): 以載流氣體作為移動相，將待測物氣化傳送至含有固定相的管柱，藉由樣品中各化合物與固定相作用力強弱，使化合物滯留於管柱內之時間不同，而達到分離的目的。

服務內容：
1. 化合物鑑定、定量

分子科學與工程系 4樓

綠色科技與能源實驗室

儀器管理者：
分子系 呂良賜教授

儀器聯絡者：
分子系 呂良賜教授

聯絡分機：#2417

400 MHz NMR 核磁共振光譜儀

400 MHz Nuclear Magnetic Resonance spectroscopy

化合物的化學結構鑑定

服務內容：
1. 一維光譜：化學位移，耦合常數，去耦合實驗等。如：1H、13C、DEPT光譜
2. 二維光譜：同核與同核相關光譜或同核與異核相關光譜，如COSY、NOESY、HSQC、HMBC光譜
3. 特殊實驗：DOSY、變溫實驗 (-80-100 ℃)

分子科學與工程系 1F

儀器管理者：
分子系 陳秀慧教授

儀器聯絡者：
實驗室 管理TA

聯絡分機：#2428