(一)計畫書之研究主題必須具有前瞻性與創新性。 (二)計畫內容需對「小尺寸或高元件密度」或「暫無尺寸限制具特殊功能」屬性做說明，並須對(1)奈米元件及(2)電路應用等兩基本研究項目之技術開發做重點說明；各項目均要說明為計畫「欲研發突破之關鍵技術及其預期進步性說明」或是「為現有技術之引用及其進步性說明」，其中欲研發突破之關鍵技術至少一項。同時對於兩研究項目之研究，亦需說明採用「實作及其規劃說明」或是「設計模擬及其環境規劃說明」進行。 (三)每年需配合國科會進行期中成果追蹤、查核及考評，以確認年度經費補助額度外，在計畫執行結束後，將進行全程期末成果審查。102年5月15日（星期三）下午6時前完成線上申請作業，並影印國科會線上完成申請畫面，於空白頁面簽名後送研發處。