1. 本「A世代前瞻半導體技術專案計畫」將推動下一個十年半導體產業所需的前瞻元件與材料、先進製程檢測等技術的先期布局，此計畫將以「科學超前佈署」的創新思維，探索突破現有框架的創新解決方案，解決2030年等效次奈米半導體量產技術所需之關鍵問題，以維持台灣半導體產業持續領先的地位。
2. 本計畫期程預定自110年5月1日至114年10月31日，以單一整合型研究計畫為限。
3. 相關計畫內容若有疑義，請洽科技部潘敏治副研究員，電話: 02-2737-7983。
4. 詳如附件。